【48812】至纯科技取得实用新型专利授权：“一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备”

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现至纯科技（603690）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备”，专利申请号为CN8.6，授权日为2024年6月11日。

  专利摘要：本实用新型触及一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备，触及半导体清洗范畴，包含枯燥槽体、载料托盘、定位模组、引流模组、盖板；定位模组包含榜首定位模组和第二定位模组，用以两种不一样的标准晶圆盒定位；引流模组设置在载料托盘上，包含引流槽和引流孔，盖板设有用以向枯燥槽体内加注加热氮气的喷淋口。本实用新型经过引流孔和引流槽，使得枯燥槽体内的流场得以优化，防止液体卡液残留；经过榜首定位模组和第二定位模组的设置，还可以彻底满意不同标准晶圆盒的兼容式装载。

  今年以来至纯科技新取得专利授权16个，较去年同期减少了20%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了2.24亿元，同比增16.35%。

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